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半导体晶圆机器人wafer handler robot有哪些？
时间:2024-12-25 点击: 来源:互联网 作者:匿名
简介：在半导体设备的广阔领域中，晶圆传输机器人无疑是最为常见且至关重要的模块之一。这些机器人依据晶圆在其上的接触方式，大致可以分为两大类别：真空吸盘式机器人与晶圆边缘接触式机器人。每一类机器人维修都以其独特的设计和功能，在半导体生产过程中发挥着不……
在半导体设备的广阔领域中，晶圆传输机器人无疑是最为常见且至关重要的模块之一。这些机器人依据晶圆在其上的接触方式，大致可以分为两大类别：真空吸盘式机器人与晶圆边缘接触式机器人。每一类机器人维修都以其独特的设计和功能，在半导体生产过程中发挥着不可或缺的作用。
谈及半导体晶圆传输机器人的主要企业，不得不提及以下几家杰出的公司（如图所示）：
川崎重工（Kawasaki），自昭和44年（即1969年），便开启了日本国产工业机器人的生产篇章。工业机器人制造业的先驱，川崎重工凭借五十余年深厚的技术积淀与丰富经验，面向汽车、电机、电子等诸多行业，研发并供应了一系列高质量、高性能的工业机器人，涵盖焊接、组装与搬运、涂装、码垛等多种用途。这些机器人不仅实现了自动化与省力化，更显著提升了生产效率和产品品质，为改善工作环境作出了重要贡献。
Rorze，成立于1996年，是半导体界内举世闻名、日本排名第一的晶圆搬送机生产商。Rorze专注于半导体晶圆、LCD基板的Robot传送筛选机的开发、销售服务。公司致力于在全球范围内开发多样化的自动化设备，以满足半导体和平板产业中多样化的产品服务和需求。
布鲁克斯（Brooks）
自1978年创立之初，便由创始人Norman和Frank Brooks共同勾勒出一个宏伟愿景：通过应用创新技术、系统专业知识和紧密的客户关系，提供卓越的自动化解决方案，从而变革半导体制造的生产力，为制造业创造前所未有的价值。如今，布鲁克斯已成为半导体行业内众多全球工艺设备和设备制造领导者的首选合作伙伴。客户选择Brooks Automation平台，正是看重其能针对应用价值进行优化的解决方案。该平台背后，是全球超过1000名致力于客户成功的团队成员。他们将创新的机电一体化、先进的运动和视觉控制、智能软件与深厚的系统和应用知识相结合，为客户提供在运输、处理、存储和纯度方面的卓越解决方案，这些解决方案在每一次应用中都能发挥出色效果。
Daihen
日本OTC（Daihen Corporation），成立于1919年，是日本最大规模的溶接/切断设备及机器人制造商。公司自主研发的焊接机器人，搭配其自行研发的多种用途焊接机及丰富多彩的周边设备，形成了一体化的规划设计，功能强大，焊接效能与品质均属上乘。配合中文化操作软件，更是成为了产业界工业自动化领域中的得力助手。
安川电机株式会社（Yaskawa）
作为日本伺服器、运动控制器、交流电机驱动器、开关和工业机器人制造商的佼佼者，其Motoman机器人系列在重型工业机器人维修领域占据重要地位。这些机器人广泛应用于焊接、包装、装配、涂层、切割、物料搬运和一般自动化等领域，展现了强大的技术实力和市场竞争力。
JEL
自1993年成立以来，便致力于半导体和FPD玻璃基板清洁机器人的研发与生产。公司名称JEL以“job enjoy life”的首字母缩写命名，寓意着通过享受工作和私人生活来获得令人满意的人生。这一理念贯穿于JEL的产品设计和服务之中，使其成为了半导体清洁机器人领域的领先制造商。
HIRATA Corp
作为一家日本公司，专注于各种生产线系统、工业机器人和物流设备的生产和销售。公司制造和经营的生产系统广泛应用于汽车、半导体和家用电子产品等领域，展现了其强大的技术实力和市场覆盖能力。
尼得科（Nidec）
作为全球颇具实力的综合马达电机制造商，已在全球拥有近300家集团企业。公司专注于生产各类小型、大型马达电机产品，并为所有“转动体、移动体”提供专业服务。为了推动企业实现更大的成长，尼得科在不断提高集团旗下各企业的技术力量和市场竞争力的同时，还积极开展以拥有先进技术的马达电机产业领域企业为对象的企业并购活动，进一步巩固了其在全球马达电机市场的领先地位。
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