原因：
［齿轮、轴承、减速机的破损］
1、 由于fanuc机器人碰撞或过载，造成过大的外力作用于驱动系统，致使齿轮、轴承、减速机的齿轮面或滚动面损伤。
2、由于长期在过载状态下使用，致使齿轮、轴承、减速机的齿轮面或滚动面因疲劳而产生剥落。
3、由于齿轮、轴承、减速机内部落入异物，致使齿轮、轴承、减速机的齿轮面或滚动面损伤。
4、齿轮 轴承减速机内部咬入异物导致振动。
应对对策：
1、使FANUC机器人每个轴单独动作，确认哪个轴产生振动。
2、需要拆下FANUC机器人电机，更换齿轮、轴承、减速机部件。有关更换部件的规格、更换方法，
3、不在过载状态下使用，可以避免驱动系统的故障。
